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모델명
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EX-3000
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EX-3000 AUTO
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스테이지
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수동
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자동
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측정부
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크기
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602W × 463D × 732H
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본체 중량
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55
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61
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기타 중량
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컴퓨터 중량 : 8.8Kg 프린터 중량 : 5.2
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테임블 크기
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170 x110
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240×220
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이동
가능거리
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X
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70
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200
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Y
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70
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200
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Z
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50
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50
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X 선원
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타겟
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텅스텐
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관전압(kV)
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50
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주사방식
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상면수직조사방식
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검출기
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비례 계수관
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필터
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수치 필터 및 기계식필터(Ni & Co)의 자동변환
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코리미터(기본사양)
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5 종류
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0.1, 0.2, 0.5, 1.0 , 2.0 (자동변환)
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코리미터(옵션사양)
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0.05 x 0.5, 0.05
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시료관찰
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CCD 카메라
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17" 컴퓨터 모니터
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컴퓨터
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IBM 호환기종
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프린터
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잉크젯 프린터
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측정대상
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원자번호 22(Ti) ∼ 82(Pb) 원자번호 21이하는 흡광법에 의한
측정
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측정단위
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um, mil, Ml, g/m2, OZ/ft2, mg/cm2,Å 선택가능
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측정범위
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원자번호 22 ∼ 24 : 0.2 ∼ 약 20um
원자번호 25 ∼ 40 : 0.1 ∼ 약 30um
원자번호 41 ∼ 51 : 0.2 ∼ 약 70um
원자번호 52 ∼ 82 : 0.05 ∼ 약 10um
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검량선
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검량선자동작성기능
멀티포인트검량선
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측정기능
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수동 측정기능
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자동 측정기능
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측정결과 출력, 자동측정 조건설정기능,
스펙트럼 측정, 측정포인트사이의
거리측정기능 |
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교정기능
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교정곡선의 자동 표시, 다점교정
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보정기능
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하지보정
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어플리케이션
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단층두께.2층 3층두께, 합금두께 및 성분비동시측정,무전해니켈측정
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자동테이블기능
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측정위치지정(X,Y,Z) 동일패턴반복기능
원점보정기능
측정위치확인 기능
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데이터 처리
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평균,최대,최소,표준편차, Cp, Cpk 히스토그램 등의 통계치 출력,
측정 데이터의 3차원표시, X-R관리도
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안전기능
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X-Ray 잠금장치, 전원안전장치, 패스워드 기능
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그 외 기능
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자동교정, 자동 자가 진단 모드, 스테이지 좌표표시
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