ニコンエンジニアリングダイナミック

スループット向上のため、試料を移動させながら、あるいは生産ラインの中での計測が必要とされます。
ニコンエンジニアリングが開発した水準標尺自動検定システムは、ダイナミック測定技術を応用した代表的な製品で、茨城県筑波の日本測量協会で利用されています。このシステムは、全長4メートルに達する測量用基準標尺をミクロンオーダーの精度で自動測定します。標尺をステージで移動させながらステージの移動距離をレーザー干渉計で読み取り、標尺上の目盛をエッジセンサーで検出。その瞬間の干渉計の読み取り値をコンピュータに取り込み、データ処理および良否の判定を行ないます。
そのほか、スペクトロメータやワーキングオートコリメータなど、ダイナミック測定技術を応用した数々の製品を開発しています。