ニコンエンジニアリング形状外観

光学技術を駆使し複雑な形状を測定する装置も数多く開発しています。
多くが自動計測に対応するため、ダイナミック測定技術とオーバーラップする部分もあります。形状・外観検査技術を応用した製品の代表格に、液晶基板外観検査装置の実績があります。これは、液晶基板のキズやゴミを観察し、その発生原因を追求するためのデータを収集する装置です。
大型液晶基板を顕微鏡で観察しますが、ステージを高速に移動し、さらにミクロンオーダーの正確さで停止。振動や音を抑え、低速でもスムーズな動作を実現するため、モータの選択や制御方法の開発など新しい技術を投入し、製品化を実現しました。
広域検査用精密大型ステージLステージは、液晶基板だけでなく、平面で厚みのない大型被検物の精密検査に、幅広く対応します。