ニコンエンジニアリング投影

フォトリソグラフィは光学技術を応用した加工方法の典型です。
投影露光装置は、マスク上に形成した微細パターンを、きわめて収差の少ない投影レンズで試料上に投影露光し、エッチングなどにより相似な形状を加工する装置です。
形状の異なる複数のパターンを焼き付けるため、高い精度でレチクル像に対する試料の位置決めを可能とする観察光学系やアライメント系、高いスループットに不可欠なステージ制御技術など、幅広い光学技術・精密加工技術が必要とされます。
ニコンエンジニアリングでは、いままでに培ってきた光学技術・精密加工技術に、ソフトウェアによる画像計測やサーボ技術を加え、磁気ヘッドやさまざまな電子部品の光微細加工に威力を発揮する、レンズ縮小投影露光装置を完成させました。